应用场景与作用
在晶园、面板厂中，部分工艺设备生产需要使用各种特殊气体。这些气体在工艺过程中会反应、形成有毒有害的工艺尾气，由真空泵从反应腔体内抽至Scrubber处理后方可排向Exhaust主管道。
其中部分尾气含有TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2，上述气体容易在室温条件下结晶，附着在排气管壁上，引起排气管堵塞宕机，同时造成排气管的损伤。因此需对该管路加装加热夹套（Heating jacket)进行温度干预，避免管路堵塞。
加热夹套（Heating jacket）应用于制程工艺设备主机台到Pump，Pump到Scrubber之间的管路。（见下图）
一般ETCH、DIFF、CVD、EPI等工艺的Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。工作温度：120℃左右，PVD：150℃-170℃（亦有180℃），ETCH：80℃-120℃。
2. 应用作用
通过升高管路工作温度，减缓管内介质结晶，避免管路堵塞，延长PM周期，提高产能。
二、实物呈现与产品结构
实物图
工作原理与延伸配套
1. 工作原理
加热夹套内缝制固定的加热丝通电后，温度逐步升高；通过调节控制系统的人机界面和单元控制器，使整条管路和每个单元达到需求的工作温度。
四、常见问题解答
问题1：为什么工作温度多设定为120℃左右？
答：Display(面板) ETCH部门,以IPS和INVENIA 设备为例，常规设备工艺废气凝固点是80℃~120℃，所以一般将工作温度设定为120℃。
特例半导体行业PVD工艺需170℃(管路 O-ring需要全氟产品)，如武汉某厂使用180℃，因Pumping line弯头较多，同时管道尺寸多数为4寸-6寸;再如无锡某外资12”FAB使用150℃，此公司Pumping line以6寸为主，且单管弯头较少，稍低温度不易堵塞。
问题2：加热夹套系统是否均带UPS电源？是否可以停电？停电有何风险？
答：无必须配备UPS电源必要；如发生停电，停电后加热系统停止工作，管内介质会加速结晶，但是短时间（2-3天内）不至于引起堵塞宕机，有充足的维修缓冲时间。
问题3：如何防止温度过高持续加热问题发生？假设发生有和风险？
答：采用加热设定和温感反馈双重温控，温度变化（低/高）、故障皆有报警；无持续升温案例发生。
问题4：排风系统是否需要安装加热夹套？
答：废气经Scrubber处理大部分易结晶物质，且排风系统管径相对较大，不易堵塞；出于成本考虑，排风系统一般不加装加热夹套。
问题5：加热夹套/加热带分别为什么材质？如何选型？
答：①加热夹套（Heating jacket)内外均为不燃材料，外层为特氟龙涂层布，一般用于Pumping line（真空管路）。
②加热带为硅胶裹覆，外包阻燃橡塑保温棉，一般用于Gas line（特气管路）。
问题6：加热夹套（Heating jacket)如何维护保养，平时做哪些点检？是否有寿命周期？
答：①因加热夹克安装后的工作装为静态，不需特殊维护保养，只需进行每日工作温度点检即可。监控报警或点检中发现部分单元故障，可换备品，产品设计便于拆装，简单换。
②寿命：≥5年
问题7：真空管加热夹套和特气管加热带有什么区别？
答：真空管加热夹套属于高温加热，工作温度120℃；特气管道加热属于低温伴热带，如BCL3加热温度35℃。
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